气体质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。

技术指标

名称	主要参数
量程	10sccm/100sccm/1slpm/10slpm/20slpm
精度	±1%F.S.
气体类型	H2、N2、Air、He（可定制）
响应时间	1s
使用压力	≤0.3MPa
工作温度	0~50℃
工作湿度	0~95%R.H.（非冷凝）
工作电压	24V±10%/1A
接口类型	RS-232
控制方式	按键/RS-485/4~20ma
气路材质	不锈钢/铝合金
气路接头	多规格选择（可定制）
尺寸	602680mm