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MK-MFC50质量流量控制器
货号: MK-MFC50
名称: 质量流量计
规格: 流量100升/分钟;流量1000升/分钟
包装:
品牌: 北仪铭科
价格:
0.00
产品详情

气体质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流进行精密测量和控制。它们在半导体集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场合有微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪以及其他分析仪器。

技术指标                             

名称

主要参数

量程

10sccm/100sccm/1slpm/10slpm/20slpm

精度

±1%F.S.

气体类型

H2、N2、Air、He(可定制)

响应时间

1s

使用压力

≤0.3MPa

工作温度

0~50

工作湿度

0~95%R.H.(非冷凝)

工作电压

24V±10%/1A

接口类型

RS-232

控制方式

按键/RS-485/4~20ma

气路材质

不锈钢/铝合金

气路接头

多规格选择(可定制)

尺寸

60*26*80mm